X'inhu Filtru ULPA? Kif Tvarja minn HEPA u Fejn Jappartjeni Kull Wieħed

Filtru HEPA taħt EN 1822 tipikament jirreferi għal H13 jew H14. Filtru ULPA jirreferi għal U15, U16, jew U17. Il-qabża minn H14 għal U15 tidher żgħira fuq il-karta, iżda f'termini ta 'penetrazzjoni hija pass ewlieni. H14 jippermetti penetrazzjoni ġenerali massima ta '0.005%, filwaqt li U15 inaqqas dik għal 0.0005%. Dan huwa tnaqqis ta '10 × fil-penetrazzjoni permissibbli.

Din hija l-ewwel ħaġa li x-xerrejja għandhom jiftakru:

•H14=HEPA

•U15-U17=ULPA

•Il-bażi tat-test hija MPPS, mhux biss dikjarazzjoni ta 'kummerċjalizzazzjoni sempliċi ta' 0.3 μm

Effiċjenza ogħla normalment tfisser kontroll tal-kontaminazzjoni aktar strett, iżda wkoll aktar sensittività tas-sistema għad-disinn tal-fluss tal-arja u l-Qasam tal-Pressjoni

Klassijiet ta' effiċjenza EN 1822

Taħt EN 1822, il-klassijiet ta'-effiċjenza għolja li jirreferu għalihom huma:

•H13: effiċjenza globali akbar minn jew ugwali għal 99.95%.

•H14: akbar minn jew ugwali għal 99.995% effiċjenza ġenerali

•U15: akbar minn jew ugwali għal 99.9995% effiċjenza ġenerali

•U16: akbar minn jew ugwali għal 99.99995% effiċjenza ġenerali

•U17: akbar minn jew ugwali għal 99.999995% effiċjenza ġenerali

L-istess tabella tal-klassi tinkludi wkoll limiti lokali ta 'effiċjenza / penetrazzjoni, li huma importanti meta l-iskannjar tat-tnixxija huwa parti mir-rekwiżit ta' aċċettazzjoni.

Dan huwa fejn tibda l-konfużjoni.

Fis-suq, ħafna datasheets ULPA għadhom jiddeskrivu l-prestazzjoni bħala 99.9995% f'0.12 μm. Il-letteratura tal-prodott AAF tagħmel dan direttament għall-moduli ULPA u l-filtri tal-kaxxa. Dak il-kliem għadu komuni u familjari għal ħafna inġiniera. Iżda l-loġika ta 'klassifikazzjoni formali taħt EN 1822 / ISO 29463 hija bbażata fuq l-ittestjar MPPS. Dan ifisser li l-aktar mod sikur biex iqabblu l-prodotti huwa:

•L-ewwel iċċekkja l-klassi: H14, U15, U16, U17

•Ikkonferma l-istandard tat-test: EN 1822 / ISO 29463

•Imbagħad tirrevedi kif il-fornitur jiddikjara l-effiċjenza mkejla fid-datasheet

Xi tfisser verament il-qabża U15

L-inġiniera tagħna spiss jaraw lix-xerrejja jittrattawU15bħala "biss ftit aħjar minn H14." Huwa aħjar minn hekk. Il-penetrazzjoni totali permissibbli tinżel b'post deċimali wieħed. F'termini ta' cleanroom, dan huwa importanti meta l-proċess ikun diġà qed jiġġieled fil-livell tad-difett, mhux biss fil-livell tal-kamra-kumdità.

Kura tas-saħħa u kmamar tal-operazzjoni: il-mira hija l-kontroll tal-infezzjoni, mhux ir-rendiment tal-wejfer

Fid-disinn tal-kura tas-saħħa, it-tħassib ewlieni huwa l-kontroll tar-riskju infettiv fl-arja, il-kontaminazzjoni-kirurġika tas-sit, ir-relazzjonijiet tal-pressjoni, u l-fluss tal-arja nadif fuq iż-żona kritika. Il-gwida tal-kura tas-saħħa ta' ASHRAE tgħid liIl-filtri HEPA huma meħtieġa mill-Istandard 170 biss għal-kmamar tal-ambjent protettivi, mhux madwar kull spazju għall-kura tas-saħħa. Għall-kmamar tal-operazzjoni, l-enfasi hija fuq il-firxa tad-diffużur tal-provvista, il-mudell tal-fluss tal-arja, u l-pressjoni tal-kamra. Huwa għalhekk li d-diskussjonijiet dwar il-kura tas-saħħa normalment jiffokaw fuqHEPA, mhux ULPA.

Hemm prodotti tal-kura tas-saħħa li joffru prestazzjoni ULPA fakultattiva. Il-letteratura dwar il-ventilazzjoni tal--sala operattiva ta' Camfil issemmi filtri ULPA fakultattivi għal xi sistemi. Iżda dan ma jbiddilx ir-regola usa':il-punt ta' referenza standard tal-kura tas-saħħa huwa filtrazzjoni ta' grad HEPA-, filwaqt li ULPA huwa każ speċjali, mhux ir-risposta awtomatika.

Il-kmamar nodfa tas-semikondutturi huma differenti. Il-gwida tas-semikondutturi ta 'Camfil tiddeskrivi fabs li jimmiraw il-livelli tal-partiċelli tal-Klassi ISO 1 flimkien ma' kontroll strett tal-kontaminazzjoni molekulari fl-arja (AMC). Tenfasizza wkoll l-użu ta 'filtri HEPA u ULPA f'applikazzjonijiet bħal litografija, inċiżjoni, diffużjoni, metallizzazzjoni, impjantazzjoni tal-joni, għodod ta' spezzjoni, u ħażna ta 'reticle jew wejfer. MANN+HUMMEL jiddeskrivi wkoll sistemi FFU għal kmamar nodfa li jużaw elementi H14 sa U17.

Huwa għalhekk li x-xerrejja tas-semikondutturi spiss jimxu minn HEPA għal ULPA:

•daqsijiet tal-partiċelli kritiċi huma iżgħar

• it-telf tar-rendiment huwa marbut direttament mal-kontaminazzjoni fuq skala nanoskala

•għodod u ambjenti mini-spiss jeħtieġu kontroll aktar strett mill-fab tal-madwar

•airborne kontaminazzjoni molekulari kwistjonijiet maġenb partiċelli

Regola sempliċi:
•Jekk il-kamra qed tipproteġi fluss tax-xogħol tal-pazjent u tal-persunal, l-HEPA normalment ikun il-punt ta 'referenza.
•Jekk il-kamra tkun qed tipproteġi wejfer, maskra, retiku, jew għodda ta 'proċess avvanzat, ULPA isir ħafna aktar komuni

Le Mhux awtomatikament.

Filtru aħjar fuq il-karta mhux dejjem huwa l-aħjar għażla ta 'inġinerija fil-qasam.

Ix-xerrejja għandhom iqabblu wkoll:

•Reżistenza inizjali

• Waqgħa tal-Pressjoni finali permissibbli

•fann kapaċità u l-ispiża ta ' l-enerġija

•airflow uniformità

•issiġillar u skennjar-rekwiżiti tat-test

•imġieba tal-ħruġ tal-gass

•riskju ta 'applikazzjoni jekk il-filtru jinstadd aktar malajr jew iġġiegħel disinn mill-ġdid tas-sistema ta' l-arja

L-inġiniera tagħna ħafna drabi jaraw ULPA speċifikat fejn H14 kien issodisfa r-rekwiżit tal-proċess reali b'reżistenza tas-sistema aktar baxxa u spiża operattiva aktar baxxa. Jiġri wkoll l-iżball oppost: HEPA tiġi kkupjata f'RFQ semikonduttur jew mikroelettronika sempliċement minħabba li huwa t-terminu l-aktar familjari. L-ebda shortcut ma hija prattika tajba ta' akkwist.

Dan il-punt jiġi injorat il-ħin kollu.

F'ambjenti ta 'semikondutturi u mikroelettronika, il-problema mhijiex biss partiċelli. Huwa wkoll rilaxx molekulari mill-filtru innifsu. Camfil tgħid li l-firxa tal-prefiltri tas-semikondutturi tagħha hija mfassla biex tipproteġi l-filtri HEPA mingħajr ma rilaxx tal-boron, u l-prodotti HEPA/ULPA tagħha għall-użu ta 'semikondutturi huma ddisinjati għal ħruġ ta' gass baxx ħafna. AAF jagħmel l-istess punt min-naħa tal-mikroelettronika, billi jiddikjara li l-mezzi tal-filtru ħielsa mill-boron u kimikament inerti jillimitaw il-gassing off-li jistgħu jagħmlu ħsara lill-mikroelettronika. Hollingsworth & Vose jiddeskrivi wkoll il-midja tal-mikroħġieġ tal--boron baxx tagħha kif iddisinjata għal kmamar nodfa tal-fabbrika tas-semikondutturi.

Fil-manifattura tas-semikondutturi, il-kontaminazzjoni tat-traċċa mhix teoretika. Il-kontaminazzjoni molekulari fl-arja u r-residwi kimiċi jistgħu jaffettwaw l-uċuħ tal-wejfer, l-ottika u l-għodod tal-proċess. Camfil jinnota b'mod espliċitu li reazzjonijiet mhux mixtieqa li jinvolvu aċidi, bażijiet, organiċi, refrattarji, udopantijista 'joħloq difetti u jnaqqas l-effiċjenza tat-tagħmir. Il-boron huwa element dopant fl-ipproċessar tas-semikondutturi, għalhekk ir-rilaxx tal-boron mhux ikkontrollat ​​minn materjali fil-mogħdija ta 'l-arja huwa eżattament it-tip ta' ħaġa li fabs jippruvaw jevitaw.

Huwa għalhekk li x-xerrejja fl-elettronika spiss jistaqsu għal:

•baxx-boronmidja

•ħruġ ta' gass baxx-adeżivi u komponenti

•ULPA jew moduli high-HEPA/ULPA mibnija speċifikament għall-mikroelettronika

•cleanroom filtri mqabbla mal-litografija, inċiżjoni, film irqiq, jew ambjenti ta ' l-għodda ta ' spezzjoni

Dan huwa importanti. Filtru tal--boron baxx mhux meħtieġ f'kull cleanroom.

Isir importanti meta:

il-proċess huwa semikonduttur jew mikroelettronika

ix-xerrej qed jimmaniġġja l-AMC u l-ħruġ tal-gass tal-materjal

il-fab jew toolmaker għandu specs stretti dwar l-indafa kimika

l-ispiża tal-kontaminazzjoni tat-traċċa hija estremament għolja

Għal ħafna kmamar nodfa farmaċewtiċi, sptarijiet jew industrijali standard, dan ir-rekwiżit jista' qatt ma jidher fl-RFQ.

1. Tqabbil ta' HEPA f'0.3 μm ma' ULPA f'0.12 μm mingħajr ma tiċċekkja l-istandard

Dan huwa paragun ta' tuffieħ-ma-larinġ sakemm ma tikkonfermax il-bażi tat-test u l-klassi ddikjarati. Il-klassifikazzjoni EN 1822 / ISO 29463 hija mibnija madwar MPPS.

2. Tispeċifika ULPA għax "ħoss aktar sigur"

Effiċjenza ogħla mhix aġġornament b'xejn jekk is-sistema ma tistax tassorbi l-Qasam tal-Pressjoni jew jekk il-proċess ma jkunx jeħtieġha.

3. Injora l-ħruġ tal-gass u l-indafa kimika fl-elettronika

F'applikazzjonijiet semikondutturi, il-materjali tal-filtru stess huma importanti. Kostruzzjoni ta'-boron u ta' ħruġ tal-gass baxx-tista' tkun importanti daqs il-klassi ta' effiċjenza.

4. Kitba "ULPA filter" fl-RFQ mingħajr klassi

RFQ serja għandha tgħidU15, U16, jew U17, flimkien mal-istandard tat-test u d-daqs.